hakkında şirket haberleri Yarı İletken Oda İzolasyonu: Sinterleme Gerektirmeyen Seramik İşleme ile Karmaşıklık Sınırlarının Aşılması

Yarım iletken levha üretiminde, plazma kazımı, ince film çöküntüsü (CVD / PVD) ve iyon ekimi gibi işlemler, oda bileşenlerine olağanüstü talepler uygular.Mühendisler sık sık ikilemle karşı karşıyadır.: karmaşık şekillere dönüştürülmesi neredeyse imkansız olan üstün performanslı seramikleri seçmek veya düşük termal direnci olan kolayca işlenebilir plastikleri seçmek.Macor® İşlenebilir Cam Seramik, "sintersiz" doğası ile, yarı iletken aletlerindeki karmaşık geometrik yalıtımlar için mükemmel bir denge sağlar.

1Karmaşık Geometriler: Geleneksel Seramikler için "Gitme Yasak Bölgesi"

İzolasyon destekleri, iyon kaynağı tabanları ve yarı iletken odaları içindeki kalkanlar genellikle çok sayıda iplikli delik, derin delikler ve ince duvarlı yapılara sahiptir.

• Sinterleme Riskleri: Geleneksel alümina seramikleri yeşil vücut oluşumundan sonra yüksek sıcaklıkta sinterlenmelidir (1600°C'den fazla).ince iplikler gibi iç özellikler için hassasiyetin korunmasını son derece zorlaştıran.

• Değmenin Sonrasındaki Engeller: Sinterleme bozukluklarını düzeltmek için uzun süreli elmas öğütme gerekir.Mühendisleri tasarım konusunda uzlaşmaya zorlamak.

2Macor® ile Sintersiz İşlemin Teknik Mantığı

Macor®'nin temel avantajı, "temin edildiği gibi" durumunun "son performans" durumunda olmasıdır.İşlem sonrası ateşleme gerektirmez, boyut deformasyon riskini tamamen ortadan kaldırır.

• Keskin Tıklama ve Borma: Fluorophlogopite mika mikrostrukturundan yararlanarak, mühendisler H6 toleranslı iğneli delikleri doğrudan Macor'a işleyebilirler.

• İnce Duvarlı Dayanıklılık: Düşük kesim kuvvetleri ve daha sonraki ısı işleminin olmaması nedeniyle, Macor®,0.5 mmKırılmadan.

• Düzgünlük: İşleme toleransları güvenilir bir şekilde±0,013 mm, yüksek hassasiyetli yarı iletken ekipman montajı sırasında mükemmel bir uyum sağlar.

3Yarım iletken ortamlarında kritik parametrelerin doğrulanması

Yarım iletken işleminin yüksek vakum ve plazma ortamlarında, Macor®'nin güvenilirliği belirli fiziksel verilerle desteklenmektedir:

• Sıfır Gözeneklilik (0%): Dış gazlama özellikleri, waferleri yüksek saflıklı vakum bütünlüğünü sağlayarak hidrokarbon veya nem kirliliğinden korur.

• Dielektrik Güç (45 kV/mm): Yüksek voltajlı alanlar altında elektrik yaylamasını önler, hassas teşhis elektroniklerini korur.

• Isı Dayanıklılığı: Sürekli çalışmak800°Cve parçacık üretmeden kazma veya çökme sırasında termal döngüye dirençlidir.

• Kimyasal Saflık: Borosilikat cam matrisine dayanır, temiz oda standartlarına uygun olarak çok düşük metal kirlilik seviyelerine sahiptir.

4Seçim Kılavuzu: Sintersiz Çözümleri Ne Zaman Seçmeliyiz?

Yarım iletken OEM üreticileri için, Macor® aşağıdaki senaryolarda geleneksel seramiklere göre üstün bir seçimdir:

• Hızlı İterasyon Aşaması: Oda tasarımları henüz sonlandırılmadığında ve yalıtım şekillerinde sık sık değişiklik gerektirdiğinde.

• Yüksek derecede entegre bileşenler: Bir parça karmaşık sensör kanalları, soğutma döngüleri veya karmaşık iplikleri birleştirdiğinde.

• Küçük partili özel ekipmanlar: Yüksek hacimli kalıplama maliyetini haklı çıkarmayan araştırma derecesinde yarı iletken platformlar için, sintersiz işleme, toplam tedarik maliyetlerini önemli ölçüde azaltır.