Ürün ayrıntıları:
|
Uygulama: | entegre devreler, dedektör / sensör cihazı, MEMS üretimi, opto-elektronik bileşenler ve güneş piller | Çap: | Ø 2" / Ø 3" / Ø 4" / Ø 6" / Ø 8" / Ø 12" |
---|---|---|---|
Oksit Kalınlığı: | 100A ~ 6um | sınıf: | Prime / Test / Dummy notu |
Vurgulamak: | Daha Yüksek Tekdüzelik Termal Oksit Gofret,Yalıtkan olarak Termal Oksit Gofret,2" termal oksit silikon gofret |
Termal Oksit Gofret, daha yüksek tekdüzelik ve daha yüksek dielektrik mukavemeti, bir yalıtkan olarak mükemmel dielektrik katman
Çıplak silikon yüzeyinde yüksek sıcaklıkta bir oksitleyici varlığında termal oksit veya silikon dioksit tabakası oluşur, işleme termal oksidasyon denir.Termal oksit normalde yatay bir tüp fırınında, 900°C ~ 1200°C sıcaklık aralığında, "Islak" veya "Kuru" büyütme yöntemi kullanılarak büyütülür.Termal oksit, CVD biriktirilmiş oksit tabakasına kıyasla bir tür "yetişkin" oksit tabakasıdır, daha yüksek bir homojenliğe ve daha yüksek dielektrik mukavemetine sahiptir, bir yalıtkan olarak mükemmel bir dielektrik tabakadır.Silikon bazlı cihazların çoğunda, termal oksit tabakası, silikon yüzeyini doping bariyerleri ve yüzey dielektrikleri olarak hareket edecek şekilde pasifleştirmek için önemli bir rol oynar.2 "ila 12" çapında termal oksit gofret sağlıyoruz, özel gereksinimlerinizi karşılamak için yüksek tekdüzelikli termal oksit tabakası büyütmek için her zaman birinci sınıf ve hatasız silikon gofret seçiyoruz.Fiyat ve teslim süresi hakkında daha fazla bilgi için bizimle iletişime geçin.
Termal Oksit Yeteneği
Tipik olarak termal oksidasyon işleminden sonra silikon gofretin hem ön hem de arka yüzü oksit tabakasına sahiptir.Sadece bir tarafı oksit tabakasının gerekli olması durumunda, geri oksiti kaldırabilir ve sizin için bir tarafı termal oksit gofretini sunabiliriz.
Oksit kalınlık aralığı | oksidasyon tekniği | gofret içinde tekdüzelik |
gofret için gofret tekdüzelik |
Yüzey işlenmiş |
---|---|---|---|---|
100 Å ~ 500 Å | kuru oksit | +/- %5 | +/- %10 | İki taraf da |
600 Å ~ 1000Å | kuru oksit | +/- %5 | +/- %10 | İki taraf da |
100 nm ~ 300 nm | ıslak oksit | +/- %5 | +/- %10 | İki taraf da |
400 nm ~ 1000 nm | ıslak oksit | +/- %3 | +/- %5 | İki taraf da |
1 um ~ 2 um | ıslak oksit | +/- %3 | +/- %5 | İki taraf da |
3 um ~ 4 um | ıslak oksit | +/- %3 | +/- %5 | İki taraf da |
5 um ~ 6 um | ıslak oksit | +/- %3 | +/- %5 | İki taraf da |
Termal Oksit Gofret Uygulaması
100A | Tünel Kapıları |
150A ~ 500A | Kapı Oksitleri |
200A ~ 500A | LOCOS Ped Oksit |
2000 A ~ 5000 A | Oksitleri Maskeleme |
3000 A ~ 10000 A | Alan Oksitler |
Ürün özellikleri
Qoksidasyon tekniği | Islak oksidasyon veya Kuru oksidasyon |
---|---|
Çap | Ø 2" / Ø 3" / Ø 4" / Ø 6" / Ø 8" / Ø 12" |
oksit kalınlığı | 100A ~ 6um |
Hoşgörü | +/- %5 |
Yüzey | Tek taraflı veya çift taraflı oksit tabakası |
Fırın | Yatay tüp fırın |
gaz | Hidrojen ve Oksijen gazları |
Hava sıcaklığı | 900C° - 1200C° |
Kırılma indisi | 1.456 |
İlgili kişi: Daniel
Tel: 18003718225
Faks: 86-0371-6572-0196