Aluminium nitride ceramic substrates (AlN)

Properties

Materials

AlN-170

AlN-200

AlN-230

Colour

gray

gray

brown

Bulk density

г/см3

≥ 3,20

≥ 3,20

≥ 3,30

Surface roughness Ra (grinding)

мкм

0,2 ~ 0,7

0,2 ~ 0,7

0,3

Surface roughness Ra (polished)

мкм

≤ 0,05

≤ 0,05

≤ 0,05

Механические характеристики

Flexural strength

МПа

≥ 380

≥ 380

≥ 350

Compressive strength

МПа

-

-

-

Elastic modulus

ГПа

320

320

320

Vickers Hardness

ГПа

11

11

11

Fracture toughness

Мпа*м^0,5

-

-

2,4

Physical properties

Coefficient of thermal expansion (40-300°C)

10 -6 /°C

2,0 ~ 3,0

2,0 ~ 3,0

4,6

Coefficient of thermal expansion (300-800 С)

2,5 ~ 3,5

2,0 ~ 3,0

5,2

Thermal conductivity (25°C)

Вт/м∙°K

≥ 170

≥ 200

≥ 230

Specific heat capacity

Дж/Кг∙°К

720

720

720

Dielectric strength

≥ 17

≥ 15

Volumetric resistance(25 С)

≥ 1013

≥ 1013

≥ 1013

Dielectric constant (1 МГц)

-

8 ~ 10

8 ~ 10

8,5

Dielectric losses(1МГц, 25°C)

∙10 -4

2

2

3

Sizes

Distance between scribing lines, мм

1±0,05

1±0,05

1±0,05

Minimum hole diameter, мм

0,1±0,05

0,1±0,05

0,2±0,05

Thickness, мм

0,385 ~ 1,500

0,385 ~ 1,500

0,25 ~ 1,00

Thickness tolerance (min), мм

± 0,03

± 0,03

±10%, не менее ±0,04 мм

Dimensions (max), мм

127 x 127

127 x 127

177,8 x 127

Dimensional tolerance (min), мм

(+0,15 / -0,05)

(+0,15 / -0,05)

±1%, не менее ±0,1 мм

Technological properties

DBC technology

-

Thick-film technology

Thin-film technology